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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT

更新日期：2024-05-14

訪問(wèn)量：1028

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT
排氣 → 鍍膜（蝕刻） → 全自動(dòng)直至向大氣開放
盡管是緊湊型，但仍可控制膜厚（簡(jiǎn)易型）
操作簡(jiǎn)單、重現(xiàn)性高的全自動(dòng)濺射設(shè)備
配備鍍膜/蝕刻模式

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT

特征

  • 排氣 → 鍍膜（蝕刻） → 全自動(dòng)直至向大氣開放

  • 盡管是緊湊型，但仍可控制膜厚（簡(jiǎn)易型）

  • 操作簡(jiǎn)單、重現(xiàn)性高的全自動(dòng)濺射設(shè)備

  • 配備鍍膜/蝕刻模式



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT


基本規(guī)格

陰極φ2英寸/2極面對(duì)電極
濺射靶包括 Au 目標(biāo)
蝕刻靶包括鋁目標(biāo)
膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體引入機(jī)制針閥
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵：20l/min（帶自動(dòng)漏氣）
排氣操作自動(dòng)的
腔室尺寸內(nèi)徑 φ120 mm x D120 mm（SUS 制）
樣品交換方式前門開閉式
尺寸（寬/深/高）主體：225/420 / 320mm
RP：300/160 / 200mm
重量身體：15kg
RP：9kg



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