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ECR線束離子源(ELBS-150)技術解析及應用領域展望
發(fā)布時間: 2023-09-12 點擊次數(shù): 319次摘要:
ECR線束離子源(ELBS-150)是一種用于反應離子束銑削設備的先進離子源。本文將介紹其特點、設備規(guī)格,并重點探討其在MEMS結構高速銑削、磁頭銑削和高頻電路微調調整等應用領域的潛力。介紹:
ECR線束離子源(ELBS-150)通過采用dute的磁路設計,能夠產(chǎn)生均勻且延展的離子束,這對于銑削設備的高效運行十分關鍵。其采用了新開發(fā)的大型同軸引入端子(7/16型)進行高功率微波驅動,可保證穩(wěn)定的離子束輸出。此外,由于采用了無金屬污染的電介質襯里以及新開發(fā)的長壽命束電極,ELBS-150具備出色的可靠性和持久性。設備規(guī)格:
光束尺寸:寬度150mm,提供廣泛的覆蓋范圍。
光束能量:可調節(jié)范圍從100至2,000eV,滿足不同應用需求。
光束電流密度:最大可達10mA/cm2,為高效銑削提供充足的能量。
連接同軸連接器標準:采用DIN 7/16標準,方便連接和集成。
適用微波頻率:2.45GHz,與常用工業(yè)微波設備兼容。
允許微波功率:最大500W,提供充足的能量供應。
冷卻方式:水冷,確保設備在長時間運行中保持合適的溫度。
應用實例:
MEMS結構高速銑削:ELBS-150可生成均勻且高能量的離子束,對于高速銑削微型機械系統(tǒng)(MEMS)結構非常適用。它能夠精確去除材料,實現(xiàn)微細加工要求。
磁頭銑削:磁頭制造是一項非常復雜的工藝,ELBS-150的離子束可以對磁頭進行精細銑削,確保磁頭的幾何形狀和性能要求達到最佳狀態(tài)。
高頻電路微調調整:ELBS-150的高能量離子束可用于微調高頻電路,如微波集成電路(MMIC)和射頻功率放大器。通過微削和微調,可以實現(xiàn)電路的精準調整,提升性能和可靠性。
結論:
ECR線束離子源(ELBS-150)以其均勻長離子束、高功率微波驅動和可靠性等優(yōu)勢,廣泛應用于MEMS結構高速銑削、磁頭銑削和高頻電路微調調整等領域。隨著技術的不斷發(fā)展,ELBS-150將在更多領域展現(xiàn)其價值,推動工業(yè)加工技術的進步和創(chuàng)新。
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